광 섬유를 이용한 미세형상 기상 계측기에 관한 연구 
(On-machine Measurement for a micro structure using the fiber-optic)

The purpose of process measurement and metrology in manufacturing is to examine whether the machined parts were made according to the designer’s specification. In the case of machining using a machine tool, a general metrological device such as coordinate measuring machine (CMM) is commonly used as a method for machine-performance in order to assess dimensional tolerances. On-machine measurement (OMM) is becoming more and more important for production technology that will offer significant improvements in the field of manufacturing. In addition to obvious benefits of inspecting and certifying machined surface immediately after machining, with no time lost between machining and inspection, such a process will reduce the need for repeating alignment, thus improving the productivity, allowing errors to be corrected quickly. While a wide variety of techniques are available to evaluate machined surface, measurement using fiber-optic is much better suited to OMM than others. When we apply fiber-optic to OMM, it can make measurement system very compact and robust against disturbance such as external shock or vibration. The goal of this research is to evaluate the feasibility of OMM using fiber-optic as a technology to enable measurement for a micro structure. 

가공시스템의 경우 가공의 형상의 측정이나 검사는 해당 제품의 질을 결정하는 중요한 요소가 된다. 3차원 측정기(Coordinate measuring machine; CMM)와 같은 측정 장비를 설치하여 가공된 형상의 오차를 평가하고 있으나, 이는 매우 비효율적인 요인을 가지고 있다. 따라서, 기상계측 시스템(On-machine measurement; OMM) 은 제조분야에서 생산기술의 큰 향상을 이룰 수 있는 매우 중요한 요소로 자리잡고 있다. 이는 시간적인 손실없이 가공과 검사가 가능하고, 가공기와 측정기를 따로 운용 할 필요가 없고, 빠른 오차보정으로 생산성이 향상되는 등의 이점을 가지고 있다. 다양한 고정밀도 기상계측 제품들이 등장하고 있지만, 광섬유를 이용한 기상계측은 시스템을 보다 콤팩트 하게 만들 수 있고, 외부 진동이나 충격과 같은 외란으로부터 영향을 적게 받는 등의 장점을 지니고 있다. 이에 본 연구실 에서는, 광섬유를 이용하여 미세형상 구조물의 기상계측 방법을 연구하고 있다